GB/T11378-2005金屬覆蓋層覆蓋層厚度測(cè)量輪廓儀法內(nèi)容是什么?百檢網(wǎng)檢測(cè)范圍廣泛，可根據(jù)客戶(hù)需求選擇合適的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)及項(xiàng)目安排檢測(cè)，全國(guó)近千家合作實(shí)驗(yàn)室，CMA/CNAS資質(zhì)齊全，可就近安排寄樣檢測(cè)。今天百檢網(wǎng)就給大家簡(jiǎn)單介紹一下GB/T11378-2005金屬覆蓋層覆蓋層厚度測(cè)量輪廓儀法標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容。

1.范圍

1.1 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金屬覆蓋層厚度的一種測(cè)量方法。該方法是首先在覆蓋層表面和基體金屬表面之間形成一個(gè)臺(tái)階,然后應(yīng)用輪廓記錄儀測(cè)量臺(tái)階的高度。本標(biāo)準(zhǔn)具體規(guī)定了儀器的特性以及輪廓儀法的特殊測(cè)量規(guī)程。

1.2 本方法適用于測(cè)量平表面上厚度0.01μm～1000μm的金屬覆蓋層厚度,如果采取適當(dāng)措施,也可以測(cè)量圓柱表面。它非常適合于微小厚度的測(cè)量,但對(duì)厚度小于0.01m的工作表面平直度、平滑度的要求非常嚴(yán)格,因此建議不要在電子觸針式儀器的*低厚度范圍內(nèi)采用本標(biāo)準(zhǔn)。本方法適用于制備覆蓋層厚度標(biāo)準(zhǔn)片厚度的測(cè)量。

2.規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的*新版本。凡是不注日期的引用文件,其*新版本適用本標(biāo)準(zhǔn)。

GB/T 4955 金屬覆蓋層 覆蓋層厚度測(cè)量 陽(yáng)*溶解庫(kù)侖法(idt ISO 2177)

GB/T 12334 金屬和其他非有機(jī)覆蓋層 關(guān)于厚度測(cè)量的定義和一般規(guī)則(idt ISO 2064)

3.原理

溶解一部分覆蓋層(驗(yàn)收試驗(yàn))或在鍍覆之前掩蓋一部分基體(生產(chǎn)檢驗(yàn))以形成一臺(tái)階。用輪廓記錄儀測(cè)量臺(tái)階的高度。

4.儀器:工作參數(shù)和測(cè)量特性

4.1 輪廓記錄儀的類(lèi)型

下列兩種類(lèi)型的儀器都可采用:

4.1.1 電子觸針式儀器,即表面分析儀和表面輪廓記錄儀,通常是用于測(cè)量表面粗糙度。但本標(biāo)準(zhǔn)的目的是用它來(lái)記錄臺(tái)階的輪廓;

4.1.2 具有觸針及記錄臺(tái)階輪廓功能的電子感應(yīng)比較儀。

電子觸針式儀器的應(yīng)用更廣,可以測(cè)量粗糙度,但電子感應(yīng)比較儀的結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單。兩種儀器通常測(cè)量不同的厚度范圍:電子觸針式儀器的范圍是0.005μm～250μm,電子感應(yīng)比較儀的范圍是1μm～1000μm。

4.2 電子觸針式儀器

4.2.1 這類(lèi)儀器用于記錄表面輪廓,它們具有下列組件:

4.2.1.1 一個(gè)夾角為1.57弧度(90°)的圓錐或角錐觸針傳感器。觸針針尖橫斷面半徑公稱(chēng)值為2μm、5μm、10μm或50μm。它與試驗(yàn)表面接觸的壓力不應(yīng)超過(guò)表1給出的數(shù)值。

4.2.1.2 一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元,它使傳感器相對(duì)于基準(zhǔn)滑軌移動(dòng),如果滑軌可能導(dǎo)致被測(cè)表面損傷或者使被測(cè)臺(tái)階變形,則傳感器應(yīng)在一個(gè)具有輪廓的標(biāo)稱(chēng)形狀基準(zhǔn)面上移動(dòng)。

4.2.1.3 一個(gè)放大單元,它使輪廓的垂直放大倍數(shù)的標(biāo)稱(chēng)值(Vv)在下面一組數(shù)據(jù)中任選:

100-200-500-1000—2000—5000—10000-20000-50000-100000-200000—500000-1000000。

4.2.1.4 一個(gè)描繪放大輪廓變化量的記錄儀,當(dāng)記錄儀與驅(qū)動(dòng)單元一起工作時(shí),可以從下面一組數(shù)據(jù)中選擇輪廓的水平放大倍數(shù)的標(biāo)稱(chēng)值(Vh):

10—20-50-100—200—500-1000-2000-5000。

4.2.2 輪廓記錄儀具有下列測(cè)量特性:

——移動(dòng)長(zhǎng)度:1mm～100mm;

——厚度測(cè)量范圍:0.005μm～250μm;

——分辨率(根據(jù)測(cè)量范圍而定):0.005μm～1μm。

4.3 電子感應(yīng)比較儀

4.3.1 電子感應(yīng)比較儀的設(shè)計(jì)和電子觸針式儀器(4.2)非常相似,主要區(qū)別是其觸針半徑大,不能描繪表面的細(xì)微輪廓。

4.3.2 電子感應(yīng)比較儀測(cè)量特性和工作參數(shù)的典型示例如下：

帶有一個(gè)能使被掃描的表面作直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái),一個(gè)匹配的放大器,線(xiàn)性度不低于5%的電子感應(yīng)比較儀。采用下列工作參數(shù):

——觸針半徑:250μm;

——*大放大倍數(shù):×50000;

——觸針靜壓力:0.12N。

具有下列測(cè)量特性:

——移動(dòng)長(zhǎng)度:100mm;

——厚度測(cè)量范圍:1μm～1000μm;

——分辨率(根據(jù)測(cè)量范圍而定):0.02μm～20μm。

5.影響精度的有關(guān)因素

5.1 輪廓記錄

因?yàn)楹穸鹊臏y(cè)量是根據(jù)被記錄的輪廓進(jìn)行,因此,在一適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù)下,如果不能正確描繪出臺(tái)階,測(cè)量誤差就大。不準(zhǔn)確的記錄可能是由于記錄儀質(zhì)量不好或調(diào)節(jié)不當(dāng)造成的。

5.2 垂直放大倍數(shù)

如果垂直放大倍數(shù)太低,則測(cè)量精度低,此時(shí)應(yīng)調(diào)整,按照臺(tái)階輪廓記錄在記錄紙上*佳寬度選擇放大倍數(shù)。

5.3 圖形測(cè)量

如果測(cè)試表面與參比(基準(zhǔn))表面不平行,則水平面的記錄與圖表坐標(biāo)方格是傾斜的,臺(tái)階垂直部分也是傾斜的,但它仍可垂直于圖表的坐標(biāo)方格,這取決于垂直和水平放大倍數(shù)觸針的半徑,*后取決于臺(tái)階的高度(即厚度)。當(dāng)輪廓傾斜時(shí),如果對(duì)水平放大倍數(shù)和垂直放大倍數(shù)的差別不作校正,測(cè)定輪廓的中心線(xiàn)間的垂直距離時(shí)通常會(huì)產(chǎn)生誤差。

為了避免這些誤差和額外的數(shù)學(xué)運(yùn)算，基準(zhǔn)面與測(cè)試表面應(yīng)平行。這可用適當(dāng)?shù)膴A具或裝配去完成。

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